1，整体结构占用空间小

2，本体重量轻巧价格实惠

3，LED/LD/PD的光强/波长/光电方面的测试

4，最多可放6个探针座，可以进行射频测试

5，可选4寸/8寸的真空吸附卡盘，可做晶圆测试

6，探针台应用于各高校/研究所/半导体电子检测等领域

1，真空吸附Chuck 4寸不锈钢 Chuck 行程范围 X方向25mm/Y方向25mm

2，Chuck 移动精度 10微米 Chuck 旋转角度 0-360°

3，电力 220VAC ,60Hz 真空 -250mmHg,7liter/min

4，尺寸范围约 长x宽x高约 400mmx300mmx500mm 重量约25kg（含CCD镜头）

5，可选附件 :探针座、显微镜系统、封装器件夹具、防震台、暗室、镀金Chuck、探针臂，探针，测试屏蔽线缆及接头部件等

1，外形尺寸 80x90x110mm

2，本体重量约 2.2kg

3，X-Y-Z移动范围 13x13x13mm

4，移动精度 3μm

5，底座固定方式 可调磁力底座

6，升级： 万向调整夹具（需另购）